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真空装置中污染的形成及其影响

发布时间:2019-03-01人气:7619

真空装置在制造过程中,零件表面不可避免地会沾上油脂、汗痕、抛光膏焊剂、金属屑、油垢污染物,同时,污染物在大气压下吸附了大量的气体,在真空环境中,这些气体被释放出来,构成了限制真空设备极限真空的因素。

        真空装置在使用过程中,受使用条件的影响,零件还会受到污染,如真空干燥系统,经常会受到蒸发物质的污染;真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;离子束刻蚀设备的内壁会被溅射物污染;真空中电子枪的灯丝,由于高温蒸发会使其附近表面形成金属膜;真空系统中的机械泵油和扩散泵油更是污染源,会使设备在长期工作后内部形成油膜。这些污染同样会影响设备的性能。

        在各类真空工艺生产中,例如,电真空工艺、真空镀膜工艺、真空焊接工艺等都十分重视真空卫生问题。在电真空工艺中,要求装配到高真空环境中的零件,事先都必须进行认真清洗,否则各种污染物可成为大量气体和蒸汽的来源,会延长真空器件的排气时间,不易获得高真空。在真空镀膜技术中,基片(衬底)表面的清洁处理也十分重要,暴露于大气中的衬底表面普遍受到污染,吸附现象、化学反应、浸析和干燥、机械处理以及扩散和离析过程都会使各种成份的表面污染物增加。基片表面在镀膜之前必须是清洁的,否则镀层与表面将不能很好地粘附

         环境污染对真空卫生影响很大,环境污染物来自空气、地板、墙壁、天花板、工作服的灰尘及棉绒等。为此,真空器件的一些特殊零部件的生产,都要求在清洁室或超洁净室里进行。在电子管制造中,管子装架和零件处理必须在封闭良好的洁净室里进行,空气必须经过两极或多极过滤,相对湿度保持在5 0 % 以下。真空卫生涉及到真空系统的各个方面,涉及到真空装置本身及其对周围环境的要求。这是一个值得重视的问题。

真空室污染物的几种类型

(1)油脂:加工、安装和操作过程中沾染的润滑剂、真空油脂等;

(2)水滴:操作过程中的手汗、吹玻璃时的唾液等;

(3)表面氧化物:易氧化材料长期暴露或放置在潮湿大气中所形成的表面氧化物;

(4)酸、碱、盐类物质:清洁后的残余物质、手汗、自来水中的矿物质等;

(5)空气中的尘埃及其它有机物。

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